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プラズマエレクトロニクス (インターユニバーシティ)
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| 商品カテゴリ: | 物理学,化学,数学,地学,科学,学習,知識
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| セールスランク: | 97013 位
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| 参考価格: | ￥ 2,415 (消費税込)
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高周波放電の基礎として
プラズマを学ぶ人なら一度はこの本を目にしているはず。
プラズマの基礎特性から産業応用まで一通りカバーしてます。
特に高周波放電(RF)については、DC放電よりもページ数を割いて説明してあり、
アンテナ結合の考え方から、CCPとICPについて、そして表面波やECRやヘリコンまで
載っています。特にCCPは自己バイアスや加熱モードについて詳しく載っているので、
スパッタやエッチングなどCCPをよく使う方にはちょうどいいと思います。
そして演習問題もちゃんと解答が載ってます(これは良書の最低条件だと思ってます)。
ただ残念なのは、産業応用としてエッチングやCVDの話をしているけど、具体的な装置構成
については載っていません(もちろんDC放電関係も)。あと、プラズマの特性を測定するのに
使うプローブ法や分光法もほとんど載っていないので、そこら辺は別の本でカバーしてください。
プラズマを始める第一ステップとなりうる
〜プラズマ関係の書籍としては、とっつきがよい。他の専門性を突き詰めた書籍と
異なり、最初のステップを踏み出すための内容といえる。内容としてはプラズマ
自体の解説から始まり、各種放電の特徴や理論数式、その導出など十分詳説され
ており、応用に関しても触れられている。学生・社会人に限らず、プラズマ技術に関わる上での第一ステップとして必要
〜〜
十分だと思う。〜
オーム社
放電プラズマ工学
プラズマ半導体プロセス工学―成膜とエッチング入門
プラズマ理工学入門
プラズマイオンプロセスとその応用
半導体ドライエッチング技術 (集積回路プロセス技術シリーズ)
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